Metal Assisted Chemical etching (MACE) adalah kaedah pengukiran basah anisotropik yang baru dikembangkan yang mampu menghasilkan struktur nano semikonduktor nisbah aspek tinggi dari filem logam berpola.
Dalam model yang diterima dengan baik yang menggambarkan proses MACE,pengoksidaanlebih disukai dikurangkan di permukaanpemangkin logam, dan lubang (h +) disuntikkan dari pemangkin logam ke Si atau elektron (e−) dipindahkan dari Si ke pemangkin logam. Si pemangkin logam di bawahnya mempunyai maksimumkepekatan lubang, oleh itupengoksidaandan pembubaran Si berlaku lebih baik di bawah pemangkin logam.
Kecekapan penukaran tenaga suria didapati meningkat apabila SiNW dengannisbah aspek tinggidigunakan di permukaan penyinaran cahaya slar.
1 Keadaan permukaan
Parameter | Proses | Refleksi |
Bahagian depan | ||
Keadaan permukaan | Logam Pembentukan Bahan Kimia Terbantu | Rendah |
Bahagian Belakang | ||
Keadaan permukaan | Digilap atau bertekstur | Tinggi atau rendah |
2 Sifat bahan
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Kaedah pertumbuhan | pemejalan arah | XRD |
Penghabluran | polikristalin | Teknik Etika Keutamaan（ASTM F47-88） |
Jenis kekonduksian | Jenis P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Boron | - |
Kepekatan oksigen [Oi] | ≦1E+17 pada / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Kepekatan karbon [Cs] | ≦1E+18 pada / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Sifat elektrik
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Ketahanan | 0.5-2 Ωcm (Selepas penyepuhlindapan) | Sistem pemeriksaan wafer |
MCLT (seumur hidup pembawa minoriti) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 Geometri
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Geometri | Segi empat sama atau segi empat tepat | Sistem pemeriksaan wafer |
Bentuk tepi serong | Garisan | Sistem pemeriksaan wafer |
Saiz wafer (Panjang sisi * panjang sisi) | 156mm * 156mm 157mm * 186mm 166mm * 166mm | Sistem pemeriksaan wafer |
Sudut antara sisi bersebelahan | 90±3° | Sistem pemeriksaan wafer |
Cool tags: permukaan silikon hitam jenis p wafer suria polikristal termasuk 166mm * 166mm, China, pembekal, pengeluar, kilang, buatan China
