Wafer solar silikon monokristal 210mmx210mm M12 dengan diameter 295mm adalah 80.5% lebih besar daripada wafer M2.
1 Sifat bahan
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Kaedah pertumbuhan | CZ | |
Penghabluran | Monokristalin | Teknik Etika Keutamaan（ASTM F47-88） |
Jenis kekonduksian | Jenis P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Boron, Gallium | - |
Kepekatan oksigen [Oi] | ≦8E+17 pada / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Kepekatan karbon [Cs] | ≦5E+16 pada / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Ketumpatan lubang etch (ketumpatan dislokasi) | ≦500 sm-3 | Teknik Etika Keutamaan（ASTM F47-88） |
Orientasi permukaan | & lt; 100> ± 3 ° | Kaedah Difraksi sinar-X (ASTM F26-1987) |
Orientasi sisi persegi pseudo | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | Kaedah Difraksi sinar-X (ASTM F26-1987) |
2 Sifat elektrik
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Ketahanan | 0.5-1.5 Ωcm | Sistem pemeriksaan wafer |
MCLT (seumur hidup pembawa minoriti) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (dengan tahap suntikan: 1E15 cm-3) |
3Geometri
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Geometri | Petak penuh | |
Panjang sisi Wafer | 182 ± 0.25 mm | sistem pemeriksaan wafer |
Diameter Wafer | φ247 ± 0.25 mm | sistem pemeriksaan wafer |
Sudut antara sisi bersebelahan | 90° ± 0.2° | sistem pemeriksaan wafer |
Ketebalan | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | sistem pemeriksaan wafer |
TTV (Variasi ketebalan total) | ≤27 µm | sistem pemeriksaan wafer |
4 Sifat permukaan
Harta tanah | Spesifikasi | Kaedah Pemeriksaan |
Kaedah memotong | DW | -- |
Kualiti permukaan | seperti dipotong dan dibersihkan, tidak ada pencemaran yang kelihatan, (minyak atau gris, cap jari, noda sabun, noda buburan, noda epoksi / gam tidak dibenarkan) | sistem pemeriksaan wafer |
Melihat tanda / langkah | ≤ 15µm | sistem pemeriksaan wafer |
Tunduk | ≤ 40 µm | sistem pemeriksaan wafer |
Meledingkan | ≤ 40 µm | sistem pemeriksaan wafer |
Kerepek | kedalaman ≤0.3mm dan panjang ≤ 0.5mm Max 2 / pcs; tiada cip V | Sistem pemeriksaan mata kasar atau wafer |
Keretakan / lubang mikro | Tidak dibenarkan | sistem pemeriksaan wafer |
Cool tags: wafer solar monocrystalline jenis p10 m, China, pembekal, pengeluar, kilang, buatan China
